高E/n放電の陰極付近におけるイオンエネルギー分布とその制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED11105

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2011/10/21

タイトル(英語): Ion Energy Distribution at the Cathode under High E/n Electrical Discharge and its control

著者名: 平沼 史弥(東京都市大学),岩尾 徹(東京都市大学),湯本 雅恵(東京都市大学)

著者名(英語): Hiranuma Fumiya(Tokyo City University),Iwao Toru(Tokyo City University),Yumoto Motoshige(Tokyo City University)

キーワード: イオンエネルギー分布|高Ｅ／ｎ放電|Ion Energy Distribution| High E/n Electrical Discharge

要約(日本語): PTFE（Poly-Tetra-Fluoro-Ethylene）は，優れた特性から多くの分野で有要な材料として注目されている。しかし，PTFEは他材料との接着力が弱い。著者らは窒素中での高E/n (E：電界，n：粒子密度)放電処理による接着力の向上を明らかにした。ところで，PTFEの表面エネルギーはイオンエネルギーに依存して変化する。そこで，本研究では高E/n放電中での陰極付近のイオンエネルギー分布に着目し，それを実験的に算出し，その結果を報告する。

要約(英語): PTFE has a weak adhesive strength. It was examined that adhesive strength improved by using the high E/n (E: Electric field , n: Particle density)discharge in nitrogen. In addition, it is also measured that the surface energy changed depending on irradiated ion energy. Therefore , ion energy distribution at the cathode under high E/n discharge was measured and to result will be reported.

原稿種別: 日本語

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