各種アルミナの二次電子放出特性に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED12040

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2012/03/09

タイトル(英語): Measurements of secondary electron emission characteristic of various alumina

著者名: 早川 智貴(埼玉大学),道園 真一郎(高エネルギー加速器研究機構),山納 康(埼玉大学),齊藤 芳男(高エネルギー加速器研究機構),小林 信一(埼玉大学)

著者名(英語): Hayakawa Tomoki(Saitama University),Michizono Shinichiro(High Energy Accelerator Research Organization),Yamano Yasushi(Saitama University),Saito Yoshio(High Energy Accelerator Research Organization),Kobayashi Shinichi(Saitama University)

キーワード: 真空|二次電子放出|アルミナ|沿面放電

要約(日本語): アルミナセラミックは機械的強度が大きく、高温で絶縁性がよいため、真空装置に広く使われている．真空中での 表面放電は表面に蓄積された二次電子が解放されることにより生じ，この際に局所加熱が生じることが多い.このため，試料温度による二次電子放出係数の違いや，電子を小照射した際の二次電子放出の時間変化による表面 帯電の評価を行った．絶縁破壊に関連のある酸素欠陥評価のためにカソードルミネセンス測定も行った．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 5,566 Kバイト