CF4/希ガス混合気体を用いた誘電体バリア放電の特性とCF4分解過程の関係

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED12089

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2012/10/22

タイトル(英語): Relationship between CF4 decomposition process and characteristic of dielectric barrier discharge in CF4/noble gas mixtures

著者名: 井出 存(首都大学東京),白井 直機(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京),杤久保 文嘉(首都大学東京)

著者名(英語): ide tamotsu(Tokyo Metropolitan University),shirai naoki(Tokyo Metropolitan University),uchida satoshi(Tokyo Metropolitan University),tochikubo fumiyoshi(Tokyo Metropolitan University)

キーワード: 誘電体バリア放電|発光分析|時分解発光計測|ＣＦ４分解

要約(日本語): CF4/希ガス用いた非熱平衡大気圧プラズマでは、CF4の分解に伴い様々な放電形態を示すことがわかっている。したがって、それらの特性を測定することでCF4分解の効率化や詳細なCF4分解過程を解明することが可能となる。ここでは、同軸円筒型の誘電体バリア放電リアクタを用い各種条件のもと実験を行い、各放電における発光や処理後のガス組成から放電特性やCF4分解過程を考察し報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,269 Kバイト