EUVL用レーザートリガー放電プラズマの放電後の現象に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED13096

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2013/10/25

タイトル(英語): Investigation on Post-Discharge Phenomena of Laser-Triggered Discharge Plasma for EUVL

著者名: Lim Soowon(熊本大学),Lu Peng(熊本大学),北島 清也(熊本大学),佐久川 貴志(熊本大学),秋山 秀典(熊本大学),勝木 淳(熊本大学)

著者名(英語): Lim Soowon(Kumamoto University),Lu Peng(Kumamoto University),Kitajima Seiya(Kumamoto University),Sakugawa Takashi(Kumamoto University),Akiyama Hidenori(Kumamoto University),Katsuki Sunao(Kumamoto University)

キーワード: 極端紫外線|レーザートリガー|液滴|シュリーレン法|放電|EUV|Laser trigger|Droplet|Schlieren method|Discharge

要約(日本語): 極端紫外線（EUV）ソースの高繰り返し動作は、大量生産を行うために必要である。この論文では、レーザートリガーEUVソースの繰り返し周波数が、放電後に生成される液滴の影響によって制限されると述べている。本研究では、Schlieren法を使用して、放電後の現象を観察した。

要約(英語): Extreme ultraviolet (EUV) sources require high-frequency operation to satisfy high-volume manufacturing requirements. This paper explains how the effect of droplets limits the repetition rate of laser-triggered discharge of EUV sources. The post-discharge phenomena were observed using the schlieren method.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,364 Kバイト