非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性と温度上昇に及ぼす誘電体材料の影響

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED16024

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2016/03/11

タイトル(英語): Influence of dielectric material properties on uniformity and temperature rise in non-equilibrium atmospheric-pressure helium plasmas

著者名: 小森 郷平(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学)

著者名(英語): Kyohei Komori(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|ヘリウム|シミュレーション|Atmospheric Pressure Plasmas|Helium|Simulation

要約(日本語): 非平衡大気圧プラズマは、環境分野、材料プロセス分野や医療・バイオ分野での応用をめざして精力的に研究開発が行われている。上記応用分野のうち、特に材料プロセスにおいては、低温かつ均一なプラズマの生成が重要視されている。本研究では、誘電体材料が非平衡大気圧ヘリウムプラズマの均一性と温度上昇に及ぼす影響を軸対称３次元流体モデルによるシミュレーションにより解析したので、その結果を報告する。

要約(英語): Non-equilibrium atmospheric-pressure plasmas (NEAPPs) have been utilized for materials processing, bio-medical and bio-logical applications, etc. Clarifying the fundamental plasma properties is important for optimization of the NEAPPs. In this work, influence of dielectric material properties on uniformity and temperature rise in helium NEAPPs was examined using an axially-symmetric three-dimensional fluid model.

原稿種別: 日本語

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