TMS vapourおよびTEOS vapourの電子衝突断面積

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED16025

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2016/03/11

タイトル(英語): Electron collision cross sections of TMS and TEOS vapours

著者名: 川口 悟(室蘭工業大学),佐藤 孝紀(室蘭工業大学),高橋 一弘(室蘭工業大学),伊藤 秀範(室蘭工業大学)

著者名(英語): Satoru Kawaguchi(Muroran Institute of Technology),Kohki Satoh(Muroran Institute of Technology),Kazuhiro Takahashi(Muroran Institute of Technology),Hidenori Itoh(Muroran Institute of Technology)

キーワード: ＴＭＳ|ＴＥＯＳ|電子スオーム法|モンテカルロシミュレーション|電子衝突断面積|TMS|TEOS|Electron swarm method|Monte Carlo simulation|Cross sections

要約(日本語): Monte Carlo simulationを用いた電子スオーム法によって，TMS vapourおよびTEOS vapourの電子衝突断面積のセットの推定を行った。推定した電子衝突断面積のセットを用いて得られた電子ドリフト速度，電離係数および縦方向拡散係数の値は，広範囲の換算電界において，実測値と非常に良く一致することが確認された。

要約(英語): The electron collision cross sections of TMS and TEOS vapours are estimated by the electron swarm method using Monte Carlo simulation. The values of electron drift velocity, ionisation coefficient, and longitudinal diffusion coefficient calculated from the estimated cross section sets agree well with measured data in a wide range of reduced electric fields.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 486 Kバイト