圧電トランスを用いた誘電体バリア放電プラズマリアクタ中のガス温度測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED16026

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2016/03/11

タイトル(英語): Gas Temperature Measurement in Dielectric Barrier Discharge Plasma Reactor Constructed by Piezoelectric Transformer

著者名: 寺西 研二(徳島大学),長戸 健晃(徳島大学),岡 知輝(徳島大学),下村 直行(徳島大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学)

著者名(英語): Kenji Teranishi(Tokushima University),Takeaki Nagato(Tokushima University),Tomoki Oka(Tokushima University),Naoyuki Shimomura(Tokushima University),Haruo Itoh(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 圧電トランス|誘電体バリア放電|ガス温度|発光スペクトル|オゾン|Piezoelectric transformer|Dielectric barrier discharge|Gas temperature|Emission spectrum|Ozone

要約(日本語): 著者らは，高電圧を発生する小型の圧電トランス表面を放電電極とした誘電体バリア放電生成法を提案し，オゾン生成や真空紫外光源への応用を検討してきた。本報告では，空気中で生成した誘電体バリア放電の発光スペクトル観測結果から，同放電プラズマ中のガス温度について測定した結果について報告する。

要約(英語): The authors have proposed a generation method of dielectric barrier discharges (DBDs) excited on a compact piezoelectric transformer (PT) surface acting as a high-voltage electrode and have attempted to apply to the ozone generation and light source of VUV. This paper deals with the results of gas temperature in the DBD produced by the PT, which is estimated from the emission spectrum in air.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,021 Kバイト