ＨiＰＩＭＳにおける基板熱流束に関する考察

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED16176

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2016/10/20

タイトル(英語): investigation of heat flux to substrate in HiPIMS

著者名: 太田 貴之(名城大学),服部 克宏(名城大学),小田　 昭紀(千葉工業大学),上坂 裕之(岐阜大学)

著者名(英語): Takayuki Ohta(Meijo University),Katsuhiro Hattori(Meijo University),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology),Hiroyuki Kousaka(Gifu University)

要約(日本語): HiPIMS中の基板温度を非接触光干渉法を用いて計測し、熱流束を見積もった。

要約(英語): Substrate temperature was measured by using non-contact optical interferometry in HiPIMS and heat flux was estimated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,181 Kバイト