150 kHz帯大電力パルスバースト型誘導性結合プラズマのグローバル・モデル解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED18024

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2018/05/17

タイトル(英語): Global Model Analysis of 150 kHz Band High-Power Pulse Burst Inductively Coupled Plasma

著者名: 齋藤 雄真(岩手大学),柴田 晃大(岩手大学),高橋 克幸(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),行村 建(岩手大学)

著者名(英語): Yuma Saito(Iwate University),Kodai Shibata(Iwate University),Katsuyuki Takahashi(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Ken Yukimura(Iwate University)

キーワード: 誘導性結合プラズマ|グローバル・モデル|バーストプラズマ|パルスプラズマ|相互誘導回路モデル|Indctively coupled plasma(ICP)|global model|burst mode|pulsed plasma|mutual induction circuit model

要約(日本語): 150 kHz帯の高電圧パルスバーストで駆動される誘導性結合プラズマ(ICP)の数Paにおける電気的特性や電子密度および電子温度をグローバル・モデルに基づいて算出した。200 ?s幅のバースト電圧を1 Hzの繰り返しで印加して，コイル電圧と電流を計測し，生成プラズマを含めた結合係数などの回路特性を求めた。2～9 kWの電力において空間平均化されたアルゴンプラズマの電子温度およびプラズマ密度は，それぞれ2～3 eVおよび1019m-3となった。

要約(英語): Electrical characteristics, electron temperature and densities of inductively coupled plasma (ICP) driven by high voltage pulse burst with 150 kHz-band at several pressures was calculated based on a global model. Waveforms of coil current and voltage were used to obtain the electrical characteristics based on equivalent circuit with mutual induction circuit model. The coil voltage and the current were measured at 200 ?s width burst pulse at 1 Hz repetition rate. The electron temperature and plasma density were calculated by spatially averaged model of argon plasma were obtained as 2~3 eV and 1019 m-3, respectively, at the input power ranged from 2 to 9 kW.

原稿種別: 日本語

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