3次元1流体2温度電磁熱流体解析モデルによるループ型誘導Ar熱プラズマの性状把握

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED18025

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2018/05/17

タイトル(英語): A Study on Loop-Type of Ar Induction Thermal Plasmas using a Three-Dimensional Two-Temperature Thermofluid Model

著者名: 田中 康規(金沢大学),藤田 敦司(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸村 徹哉(シーヴィーリサーチ),川浦 廣(シーヴィーリサーチ)

著者名(英語): Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Atsushi Fujita(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo ishijima(Kanazawa University),Tetsuya Yukimura(CV Research Co. Ltd.),Hiroshi Kawaura(CV Research Co. Ltd.)

キーワード: 熱プラズマ|表面改質|熱流体解析|３次元|Thermal plasma|Surface modification|Thermfluid modeling|Three dimensional

要約(日本語): 筆者らは円筒型誘導熱プラズマとは異なる「ループ型誘導熱プラズマ」を独自に開発している。これはループ管内に熱プラズマを生成し，そこから出射される熱プラズマの一部を基板上に形成し，これにより基板に対して長手方向に熱プラズマが照射できるようにするものである。本報ではループ型熱プラズマに対して3次元電磁熱流体解析モデルを構築し，その性状把握を試みている。

要約(英語): A thermofluid model has been developed for original and unique thermal plasma: loop type of induction thermal plasmas(loop-ICTP). In this report we have studied characteristics of loop ICTP for some parameters.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,013 Kバイト