Si含有DLC成膜用炭化水素プラズマの診断-プラズマ基礎特性の電力依存性-

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED18048

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2018/05/19

タイトル(英語): Diagnostics of Capacitively-Coupled hydrocarbon Plasmas for Si-containing Diamond-Like Carbon Coating -Power Dependence of Fundamental Plasma Properties-

著者名: 大野 祐也(千葉工業大学),永井 雅之(千葉工業大学),小田 昭紀(千葉工業大学),太田 貴之(名城大学),上坂 裕之(岐阜大学)

著者名(英語): Yuya Ohno(Chiba Institute of Technology),Masayuki Nagai(Chiba Institute of Technology),Akinori Oda(Chiba Institute of Technology),Takayuki Ohta(Meijo University),Hiroyuki Kousaka(Gifu University)

キーワード: 質量分析|ダイヤモンドライクカーボン|プラズマＣＶＤ|炭化水素ガス|高周波プラズマ|Mass spectrometry|Diamond Like Carbon|Plasma CVD|Hydrocarbon gas|Radio-frequency Plasma

要約(日本語): DLC膜は硬さや耐食性等に優れており、またSiを含有したDLCは非常に低摩擦なため自動車部品等に用いられている。これらはテトラメチルシラン(以下TMS)ガスを原料としたプラズマCVD法による成膜が主流であるためプラズマの諸特性を理解する必要がある。本報告では容量結合型RFAr/TMSプラズマの診断を行い、印加電力が本プラズマ諸特性に及ぼす影響を調査したのでその結果を報告する。

要約(英語): Diamond-like carbon (DLC) film has excellent properties in hardness, corrosion resistance, friction coeffcient and so on. Especially, Si-containg DLC film has very low friction coefficient, therefore it has been used for automobile parts. In the work, radio-frequency Ar-diluted Tetramethylsilane plasmas as a source of Si-containg DLC film have been diagnosed using a quadrupole mass spectrometer, etc.

原稿種別: 日本語

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