電荷回生型パルス電源によるパルス変調直流放電

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ED18148

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会

発行日: 2018/12/14

タイトル(英語): Pulse Modulated DC Discharge Using Charge Recovering Pulse Power Source

著者名: エムディアブドゥラアル マムン(バングラディシュ原子力エネルギーセンター),野村 恵吾(高知工科大学),古田 寛(高知工科大学),八田 章光(高知工科大学)

著者名(英語): Mamun Md Abdullah Al(Bangladesh Atomic Energy Commission),Keigo Nomura(Kochi University of Technology),Hiroshi Furuta(Kochi University of Technology),Akimitsu Hatta(Kochi University of Technology)

キーワード: パルス放電|電荷回生|共振|容量結合|Pulse discharge|Charge recovery|Resonance|Capacitive Coupling

要約(日本語): 材料プロセスに広く用いられる容量結合型プラズマ装置でパルス放電を行う場合に、電極容量の残留電荷をＬＣ共振回路で回生する電源を新規に開発した。電荷回生型パルス電源の構成と動作特性、放電の特性、高周波動作時の電力効率について分析した。

要約(英語): A novel pulse power source was developed for pulse DC discharge with recovering remaining charge on the electrodes in the capacitive coupled plasma system widely used for material processing. The design and operation performance of the power source, discharge characteristics, and power conversion efficiency at high operation frequency have been investigated.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 581 Kバイト