trr測定によるトレンチ埋め込みスーパージャンクション構造のボイド検出法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EDD07076

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　電子デバイス研究会

発行日: 2007/10/25

タイトル(英語): Dependence of Electrical Properties of Super Junction Diode on Voids within Trench-refill Region

著者名: 北田 瑞枝(新電元工業),九里 伸治(新電元工業),黒崎 徹(新電元工業)

著者名(英語): Mizue Kitada(Shindengen Electric Mfg.Co.,Ltd.),Shinji Kunori(Shindengen Electric Mfg.Co.,Ltd.),Toru Kurosaki(Shindengen Electric Mfg.Co.,Ltd.)

キーワード: スーパージャンクション|トレンチ埋め込み法|ボイド|trr測定|再結合中心|Super junction|SJ|trench-refill method|void|trr|recombination center

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 861 Kバイト