CNTチャネル上金属被膜によるCNTFETの電気特性制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EDD13035

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会

発行日: 2013/03/07

タイトル(英語): Control of Electrical Properties of Carbon Nanotube Field-Effect Transistors by Metal Overlayer on the Carbon Nanotube Channel

著者名: 石井 聡(名古屋大学),玉置 聖人(名古屋大学),岸本 茂(名古屋大学),水谷 孝(名古屋大学)

著者名(英語): Ishii Satoshi(Nagoya University),Tamaoki Masato(Nagoya University),Kishimoto Shigeru(Nagoya University),Mizutani Takashi(Nagoya University)

キーワード: ＣＮＴＦＥＴ|電気特性制御|伝導型|金属被膜|仕事関数|CNTFET|Control of electrical properties|Conduction type|Metal overlayer|Work function

要約(日本語): CNTFETにおいて、仕事関数の異なる金属被膜をCNTチャネル側面に蒸着することにより、デバイスの電気特性を制御した。グラフィティックカーボン電極で作製した両極性デバイスは、金属被膜に仕事関数が4.4 eVのTiを使用するとn-型に、また5.1 eVのPdを使用するとp-型になった。観測された電気特性は、CNT/金属被膜コンタクトに形成されるエネルギー障壁が、ドレイン電極からのキャリア注入を抑制することで説明できることを示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,992 Kバイト