円筒空洞共振器法による薄形フィルムのミリ波複素誘電率測定に関する一検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EDD19051

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会

発行日: 2019/04/24

タイトル(英語): A Study on the Complex Permittivity Measurement for Dielectric Thin Films by the Cylindrical Cavity Resonator Method

著者名: 米田 尚時(宇都宮大学),清水 隆志(宇都宮大学),古神 義則(宇都宮大学)

著者名(英語): Naotoki Yoneda(Utsunomiya University),Takashi Shimizu(Utsunomiya University),Yoshinori Kogami(Utsunomiya University)

キーワード: 複素誘電率|誘電体フィルム|ミリ波|空洞共振器法|不確かさ|空洞パラメータ|complex permittivity|dielectric thin film|millimeter wave|cylindrical empty cavity method|uncertainty|parameters of the cavity

要約(日本語): 厚さ数十ミクロン以下の誘電体フィルムの複素誘電率を円筒空洞共振器法を用いてミリ波帯で測定する際の、測定不確かさ低減の工夫について検討した。

要約(英語): We investigated the way that we can reduce the uncertainty on the measured complex permittivity of thin dielectric films in millimeter wave region with the cylindrical empty cavity method.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,043 Kバイト