金属／ダイヤモンド界面と深紫外線センサ素子

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM07016

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　電子材料研究会

発行日: 2007/11/30

タイトル(英語): Metal/Diamond interface and Deep-Ultraviolet Sensor Devices

著者名: 小出 康夫(物質・材料研究機構),廖梅勇 (物質・材料研究機構),ホセアルバレッツ (フランス国立科学研究センター)

著者名(英語): Yasuo Koide(National Institute for Materials Science),Meiyong Liao(National Institute for Materials Science),Jose Alvarez(CNRS)

キーワード: ダイヤモンド|深紫外線センサ|界面|WC|HfN|ショットキー電極|オーム性電極

要約(日本語): 高融点金属カーバイド金属の炭化タングステン（WC）基をショットキー性およびオーム性電極として用いることによって、極めて熱安定な太陽光ブラインド型ダイヤモンド深紫外線センサーの開発に成功した。本センサーの深紫外線の可視光に対する受光感度比は６桁が達成されており、光応答特性は５００℃、５時間の熱処理後も変化せず極めて熱安定であった。

要約(英語): Thermallystable, deep-ultraviolet (DUV) photodetectors are developed by fabricating a semi-transparent tungsten carbide (WC) or hafnium nitride (HfN) Schottky contact and an annealed Ti/WC Ohmic contact on a boron-doped homoepitaxial p-type diamond layer.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 505 Kバイト