集積化CMOS-MEMS技術とその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM08017

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門　電子材料研究会

発行日: 2008/05/19

タイトル(英語): The Integrated CMOS-MEMS Technology and Its Application

著者名: 町田克之 (NTT Advanced Technology Corporation),森村浩季 (NTT Corporation),石井仁 (NTT Corporation),武藤伸一郎 (NTT Corporation)

キーワード: 集積化CMOS-MEMS|LSI|センサ|pre-CMOS|post-CMOS|指紋センサ|integrated CMOS-MEMS|LSI|sensor|pre-CMOS|post-CMOS|fingerprint sensor

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,321 Kバイト