レーザー誘起ドット転写による微粒子形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM17012

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2017/09/19

タイトル(英語): Microparticle formation by laser-induced dot transfer

著者名: 奈良崎 愛子(産業技術総合研究所),佐藤 正健(産業技術総合研究所),新納 弘之(産業技術総合研究所),中田 芳樹(大阪大学),東海林 竜也(大阪市立大学),坪井 泰之(大阪市立大学)

著者名(英語): Aiko Narazaki(AIST),Tadatake Sato(AIST),Hiroyuki Niino(AIST),Yoshiki Nakata(Osaka Univ.),Tatsuya Shoji(Osaka City Univ.),Yasuyuki Tsuboi(Osaka City. Univ.)

キーワード: レーザー誘起ドット転写|微粒子|金属|半導体|酸化物|オンデマンド形成|Laser-induced dot trasfer|Microparticle|Metals|Semiconductors|Oxides|On-demand deposition

要約(日本語): 我々は、微粒子形成に特化したレーザー転写法であるレーザー誘起ドット転写法を開発した。金属・半導体・酸化物等原料膜に、レーザーパルスをシングルあるいはダブルショット集光照射し、単一微小液滴を放出、対向配置した任意の基板上に堆積させ、ミクロン/サブミクロンサイズ微粒子のオンデマンド堆積を実現する。今回は、実験ならびに有限要素法シミュレーションによる原料膜内レーザー誘起高温分布を検討したので報告する。

要約(英語): Microparticle formation has been demonstrated by a novel laser-induced forward transfer technique, which we call Laser-Induced Dot Transfer (LIDT). LIDT helps us to realize on-demand deposition of microparticle such as metals, semiconductors and oxides onto various substrates with size and position control precisely. In the LIDT process, a laser pulse through a transparent support was irradiated onto a source film. Then, a part of the source film transiently melted followed by micro-jet formation. The micro-jet ejected a single micro-droplet toward a receiver substrate facing with the source film, resulting in the deposition of a single microparticle.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,501 Kバイト