【招待講演】有機薄膜蒸着における入射分子温度の定量的測定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM18037

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2018/06/14

タイトル(英語): [Inveited] Measurement of incident molecuar temperature in the formation of organic thin films

著者名: 松原 亮介(静岡大学),久保野 敦史(静岡大学)

著者名(英語): Ryosuke Matsubara(Shizuoka University),Atsushi Kubono(Shizuoka University)

キーワード: 有機薄膜成長|薄膜形成素過程|真空蒸着|入射分子温度|Organic thin film growth|Elementary processes in the thin film growth|Vacuum deposition|Incident molecular tempearture

要約(日本語): 真空蒸着による有機薄膜成長過程においては、基板温度および成長速度（入射分子フラックス）のみならず、基板に入射する分子の運動エネルギーも薄膜成長に影響を及ぼす可能性がる。実際、我々の研究室では入射する分子の運動エネルギーが有機薄膜の成長過程に影響を与えることを示唆する実験結果が得られている。本講演では、入射分子の温度を測定する手法の確立、ならびに入射分子が薄膜成長過程に及ぼす影響について考察する。

要約(英語): In the formation of organic molecular thin films by vacuum evaporation, incident molecular temperature is important. In this presentation, we report the method to measure the incident molecular temperature quantitatively and the effect on the organic thin film growth.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,170 Kバイト