水晶振動子マイクロバランス法を用いたペンタセン薄膜形成初期過程の解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM18038

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2018/06/14

タイトル(英語): Analysis of initial stage in pentacene thin film growth using quartz crystal microbalance

著者名: 羽生 大亮(静岡大学),松原 亮介(静岡大学),久保野 敦史(静岡大学)

著者名(英語): daisuke hanyu(Shizuoka university),ryosuke matsubara(Shizuoka university),atsushi kubono(Shizuoka university)

キーワード: 水晶振動子マイクロバランス（ＱＣＭ）|有機半導体|ペンタセン|薄膜成長|平均基板滞在時間|quartz crystal microbalance(QCM)|organic semiconductor| pentacene|thin film growth|average lifetime of adsorbed molecules

要約(日本語): 真空蒸着法による薄膜作製の場合、薄膜構造は形成の素過程(吸着・脱離・拡散)といった薄膜形成初期過程に大きく影響される。我々は非破壊かつ高精度の付着量測定が可能な水晶振動子マイクロバランス(QCM)を用い、パラフィンの薄膜形成初期過程のin-situ測定とその速度論的解析を行ってきた。本研究では、代表的な有機半導体であるペンタセンを用い、有機TFTで重要となる絶縁膜上の薄膜形成初期過程についてQCM法による評価を行った。

要約(英語): We conducted in-situ measurements using quartz crystal microbalance in order to analyze the initial stage of thin film growth, which has a great influence on the thin film structure.

原稿種別: 日本語

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