フラーレン薄膜真空蒸着中の液体導入による結晶粒密度の変化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM18039

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2018/06/14

タイトル(英語): Variations of the crystal grain density by liquid-introduction during vacuum deposition of fullerene thin films

著者名: 片山 哲(東京農工大学),嘉治 寿彦(東京農工大学)

著者名(英語): Tetsu Katayama(Tokyo university of agriculture and technology),Toshihiko Kaji(Tokyo university of agriculture and technology)

要約(日本語): 有機薄膜の真空蒸着中に液体分子(PDMS; ポリジメチルシロキサン)を導入し薄膜の結晶化を促進する方法である共蒸発分子誘起結晶化法の原理解明を目指し、C60およびPDMSの蒸着速度によるC60の結晶粒密度の変化を調べた。蒸着中にPDMSを導入することで膜厚に依らず結晶粒密度が小さくなり、PDMSの蒸着速度が大きいほど結晶粒密度は小さくなった。また、PDMSは結晶粒の形成、成長のどちらにも影響を及ぼすことがわかった。

要約(英語): By introducing a liquid molecule (PDMS; polydimethylsiloxane) during vacuum deposition of C60 thin films, the crystal grain density of C60 got lower regardless of its thickness. The more rapidly the PDMS was evaporated, the lower the crystal grain density of C60 became. We found that PDMS influenced both nucleation and growth of crystal grains.

原稿種別: 日本語

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