圧力を変更した変調型Ar/CH4/H2誘導熱プラズマ照射による多結晶ダイヤモンド膜生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP19061

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2019/05/17

タイトル(英語): Polycrystalline Diamond Film Fabricated Using Modulated Inductively Coupled Thermal Plasmas at Different Pressures

著者名: 畑 和史(金沢大学),荒井 隆志(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),中野 裕介(金沢大学)

著者名(英語): Kazufumi Hata(kanazawa university),Takashi Arai(kanazawa university),Yasunori Tanaka(kanazawa university),Yoshihiko Uesugi(kanazawa university),Tatsuo Ishijima(kanazawa university),Yusuke Nakano(kanazawa university)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ|鋸波変調|圧力依存性|多結晶ダイヤモンド|化学気相蒸着法|熱解離|Modulated Inductively coupled thermal plasma|Saw-wave modulation|Pressure dependence|Polycrystalline diamond|Chemical vapor deposition|Thermal dissociation)

要約(日本語): 本論文では，変調型誘導熱プラズマを用いた多結晶ダイヤモンド膜生成において, 圧力依存性を検討した。変調誘導熱プラズマは熱プラズマを変動させることにより温度と化学活性種密度を制御でき，材料プロセスへの応用が期待されている。圧力は, 熱プラズマ温度およびガス流速に影響をおよぼす極めて重要な物理パラメータである。その結果，低圧力条件の場合に, 多結晶ダイヤモンド膜生成レートが向上することが示唆された。

要約(英語): Pressure dependence was studied on polycrystalline diamond films fabricated by modulated induction thermal plasmas. Pressure is a very important physical parameter that affects thermal plasma temperature and gas flow rate. Results showed that reducing pressure enhanced to fabricate polycrystalline diamond film.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,572 Kバイト