ループ型誘導熱プラズマの温度・流速場のトーチサイズ依存性に関する電磁熱流体解析による検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP19063

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2019/05/17

タイトル(英語): Numerical Investigation about Torch Size Effect on Gas Temperature and Gas Flow Fields in Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas

著者名: 大関 元紀(金沢大学),藤田 敦士(金沢大学),中野 裕介(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(シー・ヴィ・リサーチ),川浦 廣(シー・ヴィ・リサーチ)

著者名(英語): Genki Ozeki(Kanazawa University),Atsushi Fujita(Kanazawa University),Yusuke Nakano(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto(CV.Reserach Corporation),Hiroshi Kawaura(CV.Reserach Corporation)

キーワード: ループ型|熱プラズマ|表面改質|電磁熱流体解析|大面積化|ループの直径|Loop type|Thermal plasma|Surface modification|Electromagnetic thermal fluid analysis|Large area|Loop diameter

要約(日本語): 本論文は，ループ型誘導熱プラズマ(loop-ICTP)装置において，ループサイズがプラズマ温度・ガス流場に与える影響を数値解析的に検討したものである。ループ型誘導熱プラズマは，熱プラズマによる大面積表面改質を目的として筆者らが独自開発したものである。筆者らはこれまでに，loop-ICTPに対して２温度１流体電磁熱流体解析モデルを構築している。今回本モデルを用い，特にループの直径を大きくした熱プラズマの物理量に対する影響を検討した。

要約(英語): Torch size effect was numerically investigated on temperature and gas flow field in the loop type of inductively coupled thermal plasma (loop-ICTP). The loop-ICTP has been developed by the authors for the purpose of rapid large-area surface modification. For this loop-ICTP, a two-temperature and one fluid model has been developed to obtain gas temperature, electron temperature and gas flow field. Results indicated that Here, effect of loop torch diameter was studied on the gas temperature and gas flow pattern in loop-ICTP.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,539 Kバイト