中気圧プラズマにおける窒素原子密度のレーザー分光計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP19064

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2019/05/17

タイトル(英語): Laser Spectroscopy of Atomic Nitrogen in Midium Pressure Plasma

著者名: 中川 雄介(首都大学東京),吉井 樹(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京),杤久保 文嘉(首都大学東京)

著者名(英語): Yusuke Nakagawa(Tokyo Metropolitan University),Tatsuki Yoshii(Tokyo Metropolitan University),Satoshi Uchida(Tokyo Metropolitan University),Fumiyoshi Tochikubo(Tokyo Metropolitan University)

要約(日本語): 大気圧プラズマは高いラジカル密度を得られるが、ラジカル寿命が短く有効ラジカルフラックスが小さいという課題がある。10-90 kPaの中気圧下では、ラジカルのフラックスを向上できる可能性がある。中気圧プラズマにおけるラジカルの挙動を解明するため、窒素原子密度のレーザ計測を行った。TALIF計測の結果、30 kPaにおいて大気圧の3倍程度の窒素原子フラックスを得られることが分かった。

要約(英語): Under several tens kPa (medium pressure), plasma-originated radical flux can be improved. In order to elucidate the behavior of radicals in the medium pressure plasma, we measured the atomic nitrogen density under pulsed barrier discharge by TALIF. The results indicate that the flux of atomic nitrogen at 30 kPa is about tripled of that at 100 kPa.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 901 Kバイト