エキシマレーザ用パルスパワー電源の回路シミュレーション

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP19090

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2019/10/24

タイトル(英語): Circuit simulation of pulse power supply for excimer laser

著者名: 植山 健史(ギガフォトン),梅田 博(ギガフォトン),柿崎 弘司(ギガフォトン)

著者名(英語): Takeshi Ueyama(GIGAPHOTON INC.),Hiroshi Umeda(GIGAPHOTON INC.),Kouji Kakizaki(GIGAPHOTON INC.)

キーワード: パルスパワー|シミュレーション|エキシマレーザ|回生エネルギー|反射エネルギー

要約(日本語): 半導体の露光にはパルスパワー電源を備えたエキシマレーザが多く使用されているが消費電力が大きく、電力消費低減のためにも電源の損失低減は必要である。損失低減を実現するためには多数の電源パラメータを調査するためシミュレーション技術は必須である。今回は電源の一般的な回路にて、主転送に加えて更に放電負荷から充電用コンデンサまでのエネルギーの流れのシミュレーションを実施した。

要約(英語): Excimer lasers are required to reduce power cumsumption so that the power consumption of the pulse power supply needs to reduce. To investigate a lot of number of circuit parameters, we carried out circuit simulation from the discharge electrodes to the charging capacitor in addition to the main transfer.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 448 Kバイト