バリア放電の高温拡張化における極性依存性および窒素ドーピングの調査

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP20037

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2020/07/16

タイトル(英語): Investigation of Polarity Dependence and Nitrogen Doping in High-Temperature Extension of Barrier Discharge

著者名: 小松 智紀(大分大学),市來 龍大(大分大学),川述 圭樹(大分大学),立花 孝介(大分大学),古木 貴志(大分大学),金澤 誠司(大分大学)

著者名(英語): Tomoki Komatsu(Oita University),Ryuta Ichiki(Oita University),Keiju Kawanobe(Oita University),Kosuke Tachibana(Oita University),Takashi Furuki(Oita University),Seiji Kanazawa(Oita University)

キーワード: 誘電体バリア放電|拡張化|極性|窒化|沿面放電|DBD|Extension|Polarity|Nitriding|Creeping Discharge

要約(日本語): 我々の研究室では、誘電体バリア放電（DBD）を昇温させて窒化実験を行い、成功している。また、DBDの対向電極を点電極にして局所窒化を目指したが、高温下におけるDBDは拡張化が起き、窒化範囲も広がることが判明した。さらに、この新現象の挙動を調査するために、３つの条件に分けて極性別に放電観測を行った。結果として、バリア上の沿面放電は極性が変わると放電領域が変化していたが、DBDは変化が起こらずに拡張化を維持していた。

要約(英語): We have succeeded in nitriding by DBD. We tried local nitriding, but the discharge area of DBD extended at high temperatures. To investigate the behavior of extending, we carried out discharge observations for each polarity. As a result, the area of a creeping discharge changed when the polarity changed, but that of DBD did not change.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,581 Kバイト