LC直列共振による誘導結合プラズマの生成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP20050

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2020/07/16

タイトル(英語): An inductively coupled plasma generation by LC series resonance

著者名: 東 欣吾(兵庫県立大学),西川 晶(兵庫県立大学),岡 好浩(兵庫県立大学)

著者名(英語): Kingo Azuma(University of Hyogo),Akira Nishikawa(University of Hyogo),Oka Yoshihiro(University of Hyogo)

キーワード: 誘導結合プラズマ|ＬＣ直列共振|ＳｉＣ－ＭＯＳＦＥＴ|ハーフブリッジ回路|パルス放電|Ｅ／Ｈ遷移|Inductively coupled plasma|LC series resonance|SiC-MOSFET|Half bridge circuit|Pulsed discharge|E-to H-mode transition

要約(日本語): ワイドギャップ半導体の実用化によりに伴い、高速スイッチングの実現が容易になってきた。我々は、キャパシタが直列接続された誘導結合プラズマのアンテナコイルをSiC-MOSFETからなるハープブリッジ回路に接続し、ゼロ電流スイッチングによる誘導結合プラズマの自己励起を試みた。

要約(英語): With the practical use of wide gap semiconductors, realization of high-speed switching has become easy. We connected an antenna coil of inductively coupled plasma with a series connection of capacitors to a half-bridge circuit composed of SiC-MOSFET, and tried to self-excit the inductively coupled plasma by zero current switching.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 963 Kバイト