150 kHz帯大電力バースト型誘導性結合Arプラズマの電気的特性の時間分解計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP20051

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2020/07/16

タイトル(英語): Time-resolved electrical-characteristics of 150 kHz Band High-Power Burst Inductively Coupled Ar Plasma

著者名: 菊池 尚希(岩手大学),齋藤 雄真(岩手大学),高橋 克幸(岩手大学),向川 政治(岩手大学),高木 浩一(岩手大学),行村 建(岩手大学)

著者名(英語): Hisaki Kikuchi(Iwate University),Yuma Saito(Iwate University),Katsuyuki Takahashi(Iwate University),Seiji Mukaigawa(Iwate University),Koichi Takaki(Iwate University),Ken Yukimura(Iwate University)

キーワード: 誘導性結合プラズマ|バーストプラズマ|パルスプラズマ|ダブルプローブ法|Inductively coupled plasma(ICP)|burst mode|pulsed plasma|double probe method

要約(日本語): 150kHz帯の高電圧パルスバーストで駆動される誘導性結合プラズマの電気的特性を時間分解計測により調べた。1000 μs幅のバースト電圧を10Hzの繰り返しで印加して，コイル電圧・電流を測定した。ダブルプローブ法を用いた計測を行い，電子温度およびプラズマ密度の測定を行った。プラズマ消費電力は最大で5.0 kWであり，プラズマ密度はプラズマ点灯後約45 μsで最大で1×1020 m-3となり，時間と共に減少することがわかった。

要約(英語): The time resolved electrical characteristics of inductively coupled plasma driven by high voltage burst pulses with 150 kHz-band were investigated. The width of burst pulses were 1000 μs and its repetition rate was 10 Hz. The electron temperature and the plasma density were measured by double probe method. Consumption power in plasma reached at the maximum 5.0 kW, and plasma density reached its maximum at approximately 1×1020 m-3 at about 45 μs after the plasma ignition and decreased with time.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,319 Kバイト