両極性パルス加速器開発に向けたパルスイオンビームのエネルギー評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP20053

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2020/07/16

タイトル(英語): Energy analysis of pulsed ion beam for bipolar pulse accelerator development

著者名: 石田 治康(富山大学),寺田 匡志(富山大学),伊藤 弘昭(富山大学)

著者名(英語): Haruyasu Ishida(University of toyama),masashi Terada(University of toyama),Hiroaki Ito(University of toyama)

キーワード: パルスパワー|イオンビーム|両極性パルス加速器|プラズマ|Pulse power| Ion beam| Bipolar pulse accelerator| plasma

要約(日本語): パルス重イオンビームは次世代半導体材料開発に向けた新しいプロセス技術として期待されている。この技術の実現に向け、イオンビームの高純度化が必要である。本研究では、ビームの純度向上を目指し、これまでのパルス重イオンビーム技術に両極性パルス電源を融合させた両極性パルス加速器の開発を行ってきた。本発表では、パルス重イオンビームをトムソンパラボラ分析器で評価し、動作の検証を行ったので報告する。

要約(英語): Pulsed heavy ion beams are expected as a tool for new processing technology of next-generation semiconductor materials. To realize this technology, we have developed a bipolar pulse accelerator for improving the ion priority of pulsed ion beam. In this study, we report the evaluation of the ion species and the energy spectrum of the pulsed heavy ion beam via thomson parabola spectometer.

原稿種別: 日本語

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