誘電体バリア放電の水晶振動子表面洗浄への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: FTE06030

グループ名: 【B】電力・エネルギー部門　新エネルギー・環境研究会

発行日: 2006/10/28

タイトル(英語): Application to surface cleaning of quartz crystal using dielectric barrier discharge

著者名: 勝浦隼人 (長岡技術科学大学),中村翼 (長岡技術科学大学),古谷清蔵 (長岡技術科学大学),原田信弘 (長岡技術科学大学)

著者名(英語): Hayato (Nagaoka University of Technology),Katsuura (Nagaoka University of Technology),Tsubasa Nakamura(Nagaoka University of Technology),Seizo Furuya(Nagaoka University of Technology),Nobuhiro Harada(Nagaoka University of Technology)

キーワード: 誘導体バリア放電|水晶振動子|表面洗浄|接触角

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 923 Kバイト