同軸円筒状リアクタを用いた金属細線のプラズマアニーリングと2次元解析の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: FTE08016

グループ名: 【B】電力・エネルギー部門　新エネルギー・環境研究会

発行日: 2008/09/30

タイトル(英語): Plasma annealing of metallic wire with the coaxial cylinder reactor and investigation of two dimensional analysis

著者名: 前田 圭介(長岡技術科学大学),古谷 真一(長岡技術科学大学),菊池 崇志(長岡技術科学大学),原田 信弘(長岡技術科学大学)

著者名(英語): Keisuke Maeda(Nagaoka University of Technology),Shinichi Furuya(Nagaoka University of Technology),Takashi Kikuchi(Nagaoka University of Technology),Nobuhiro Harada(Nagaoka University of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|誘電体バリア放電|プラズマアニーリング|表面洗浄効果|焼鈍|金属細線|伸び率|Atmospheric pressure plasma|Dielectric Barrier Discharge|Plasma annealing|Surface cleaning effect|Annealing|Metallic wire|Coefficient of extension

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,042 Kバイト