大気圧プラズマによる細線アニーリングの効率向上のためのプラズマ計測

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: FTE09082

グループ名: 【B】電力･エネルギー部門　新エネルギー･環境研究会

発行日: 2009/12/03

タイトル(英語): Evaluation of Atmospheric Discharge Plasma Toward Efficient Wire Annealing

著者名: 河井公太郎 (長岡技術科学大学),石塚勇人 (長岡技術科学大学),佐々木徹 (長岡技術科学大学),菊池崇志 (長岡技術科学大学),原田信弘 (長岡技術科学大学),布施雅幸 (サイカワ),相沢隆 (サイカワ),中村翼 (大島商船高等専門学校)

著者名(英語): K.Kawai (Nagaoka University of Technology),H.Ishizuka (Nagaoka University of Technology),T.Sasaki (Nagaoka University of Technology),T.Kikuchi (Nagaoka University of Technology),N.Harada (Nagaoka University of Technology),M.Fuse (SAIKAWA CO.,LTD),T.Aizawa (SAIKAWA CO.,LTD),T.Nakamura (Oshima National College of Maritime Technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|細線アニーリング|表面洗浄|分光計測|Atmospheric pressure plasma|Wire annealing|Surface cleaning|Spectroscopic measurement

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 964 Kバイト