大気圧プラズマ円筒型リアクタによる金属細線アニーリング効果の定量化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: FTE09084

グループ名: 【B】電力･エネルギー部門　新エネルギー･環境研究会

発行日: 2009/12/03

タイトル(英語): Quantification of annealing for metal thin wire using discharge plasma in cylindrical reactor at atmospheric pressure

著者名: 石塚 勇人(長岡技術科学大学),河井 公太郎(長岡技術科学大学),佐々木 徹(長岡技術科学大学),菊池 崇志(長岡技術科学大学),原田 信弘(長岡技術科学大学),布施 雅幸(サイカワ),相沢 隆(サイカワ),中村 翼(大島商船高等専門学校)

著者名(英語): Hayato Ishizuka(Nagaoka University of Technology),Koutarou Kawai(Nagaoka University of Technology),Toru Sasaki(Nagaoka University of Technology),Takashi Kikuchi(Nagaoka University of Technology),Nobuhiro Harada(Nagaoka University of Technology),Masayuki Fuse(Saikawa Co.,LTD.),Takashi Aizawa(Saikawa Co.,LTD.),Tsubasa Nakamura(Oshima national college of maritime technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|細線アニーリング|表面洗浄|Atmospheric discharge plasma|wire annealing|surface cleaning

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 548 Kバイト