微粒子静電加速および基板形状最適化による超音速微粒子流動加工の高性能化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: FTE10050

グループ名: 【B】電力・エネルギー部門 新エネルギ－・環境研究会

発行日: 2010/08/27

タイトル(英語): Advancement of Supersonic Particulate Jet Process by Electrostatic Acceleration and Optimization of Substrate Configuration

著者名: 高奈 秀匡(東北大学),李 紅岩元(元東北大学),小川 和洋(東北大学),西山 秀哉(東北大学)

著者名(英語): Takana Hidemasa|Li HongyangFormerly|Ogawa Kazuhiro|Nishiyama Hideya

キーワード: 超音速流|静電加速|成膜加工|数値シミュレーション|衝撃波|固気混相流|Supersonic flow|Electrostatic acceleration|Coating process|Computational simulation|Shockwave|Solid-gas two phase flow

要約(日本語): 超音速流により加速された微粒子を固相のまま基板に高速衝突させることにより成膜する超音速微粒子ジェット加工の先進応用を目指し，プロセス全過程に対して数値実験を行った。微粒子静電加速により，衝撃波発生下でもサブマイクロ粒子を高速輸送することが可能となり，粒子付着効率が向上することを示した。さらに，本加工法による孔充填加工の高度化を目指し，基板に設けられた孔形状が流れ場および皮膜形成に与える影響を明らかにし，性能向上のための最適孔形状を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 6,206 Kバイト