大気圧プラズマによる金属細線アニーリング効果の電子密度依存性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: FTE11025

グループ名: 【B】電力・エネルギー部門 新エネルギ－・環境研究会

発行日: 2011/08/26

タイトル(英語): Dependence property on electron density in annealing effect of thin metallic wire by atmospheric pressure plasma

著者名: 鹿野 暁文(長岡技術科学大学),石塚 勇人(長岡技術科学大学),河井 公太郎(長岡技術科学大学),佐々木 徹(長岡技術科学大学),菊池 崇志(長岡技術科学大学),原田 信弘(長岡技術科学大学)

著者名(英語): Kano Toshifumi(Nagaoka University of Technology),Isizuka Hayato(Nagaoka University of Technology),Kawai Koutarou(Nagaoka University of Technology),Sasaki Toru(Nagaoka University of Technology),Kikuchi Takashi(Nagaoka University of Technology),Harada Nobuhiro(Nagaoka University of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマ|金属細線アニーリング|伸び率|金属組織観察|電子密度|Atmospheric pressure plasma|Thin metallic wire annealing|longation rate|Metallographic observation|Electron density

要約(日本語): 大気圧放電プラズマを用いた金属細線アニーリングにおいて，プラズマの電子密度に対するアニーリング効果の検討を行った。これまでに，細線の金属組織観察およびプラズマの発光スペクトル測定から，大気圧プラズマによるアニーリングの効果は電子密度に依存することが示唆されている。本研究では，アニーリングに適切な条件を得るために，プラズマアニーリング効果に対する電子密度依存性を検討する。

要約(英語): In metal thin wire annealing using atmospheric pressure plasma, the annealing effect was investigated in electron density. From metallographic observation and spectral intensity of plasma, the dependence on electron density of the annealing effect was suggested. In this study, the dependence property of electron density is studied in the annealing effect.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,531 Kバイト