ナノシステム創製を支える最新ナノテクノロジー

カテゴリ: 技術報告

論文No: 1060

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2006/08/10

タイトル(英語): Advanced Nanotechnologies for Novel Nanosystems

著者名: ナノファブリケーション調査専門委員会

著者名(英語): Investigating R&D Committee on Nanofabrication

キーワード: nanofabrication, nanotechnologies, MEMS, NEMS

要約(日本語): 近年、ナノテクノロジーによる新規産業の創出や新たなものづくり技術の展開を図る気運が急速に高まっており、その基盤技術研究に多くの研究者が注目している。特に、ナノファブリケーション技術はあらゆるデバイス開発の基盤技術であることから、同技術の発展によって、新しいナノシステムの創製が期待される。そして、ナノファブリケーション技術で創出される成果を十分に活用するためには、ナノレベルの構造体や機能素子が適切に働き、その結果が我々に見える形で帰ってくるデバイスの開発、すなわち、ナノからマイクロ・マクロに至る階層構造を有するデバイス開発が重要である。このようなデバイスを実現するためには、ナノファブリケーション技術とMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 技術の融合による総合的なマイクロ・ナノシステム開発技術を確立する必要がある。このような状況から、本技術報告ではナノファブリケーション技術とMEMS技術の融合技術に関する最新動向についてまとめる。その中でナノシステムを創製するために重要な技術として、(1) ナノ構造を実現するナノプロセス技術、(2) プローブ技術などによってカーボンナノチューブなどのナノ要素を操作するマイクロナノデバイス・システム技術、(3) ナノスケールで制御されたナノ材料創製とその評価技術、に関する報告を行う。

要約(英語): Recently, many researchers notice fundamental technologies of nanotechnologies because of many possibilities of nanotechnologies. Especially, nanofabrication is foundation technology for R&D of all devices and systems. Therefore a development of nanofabrication contributes to realization of novel nanosystems. In order to apply results from nanofaburication technology in industry, it is necessary to develop micro devices and systems which are able to analyze materials, structures and elements in nanosystems on a micro/nano meters scales. The micro devices should be developed by combination of nanofabrication and MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) to build up comprehensive development technologies for nanosystems. Therefore this technical report presents the trend of combination technologies of nanofabrication and MEMS technologies for the developments of nanosystems, such as (1) nano-process techniques for nanostructure, (2) micro/nano devices and microsystems for handling and analyzing nanoelements, such as a carbon nano-tube, with microprobes, and (3) technologies on nano-materials, realization of novel nano-material and its (electrical and mechanical) evaluation techniques.

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