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ナノスケールサーボのための新しい制御技術

ナノスケールサーボのための新しい制御技術

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カテゴリ: 技術報告

論文No: 1137

グループ名: 【D】産業応用部門

発行日: 2008/10/30

タイトル(英語): New Control Technology for Nano-scale Servo

著者名: ナノスケールサーボのための新しい制御技術協同研究委員会編

著者名(英語): Technical Committee on New Control Technology for Nano-scale Servo

キーワード: ナノスケールサーボ,マスストレージシステム,露光装置,高速高精度位置決め制御,原子間力顕微鏡/Nano-scale servo system, Mass storage system, Step and scan stage, High speed high precision position control, AFM

要約(日本語): 次世代の産業の最重要技術,ナノテクノロジーの中でのナノスケールサーボ制御技術に対する広い調査を行なった技術報告である。 様々なアプリケーションへの応用とそのための新しい制御技術の報告を以下の3つの構成で纏めた。 (1)マスストレージシステムのナノスケールサーボ技術調査  前身のマスストレージ委員会で作成したベンチマーク問題を中心に,各種制御理論の比較検討。またマルチレート制御を代表とする高速高精度制御技術や,コンシューマエレクトロニクスが求める制御技術を調査報告。 (2)上記以外の各種ナノスケールサーボ装置における制御技術の調査  露光装置やその他の生産装置における超高精度制御,原子間力顕微鏡(AFM)の制御,ピエゾアクチュエータの制御,ナノスケールサーボに適した新アクチュエータなどのナノスケールマニピュレーションのための要素技術報告 (3)ナノスケールサーボのための制御理論  マルチレート制御やロバスト制御だけではなく,制振制御や目標軌道生成,超精密制御のためのパラメータ自動最適化,モード切り替え制御など,超高速超精密位置決めのための新制御理論についての報告

要約(英語): Nano-scale servo control is a significant technology in nano-technology, and this technical report addresses issues in nano-scale servo system. The report consists of the following three sections considering control design and its wide application. (1) Investigation of nano-scale servo technology for mass storage system A variety of control theories are suggested and compared based on the benchmark problem proposed by the previous committee. Control technologies for high speed and high precision positioning in mass storage system such as hard disk drive and optical disk drive in consumer electronics are investigated. (2) Control technology applied to various nano-scale servo system High speed and high precision control as a key technology in Step and Scan Stage, and other manufacturing system, nano-manipulation in atomic force microscope and piezoelectric acutuator are investigated. (3) Novel control theories for nano-scale servo control In addition to multirate control and robust control, other potential control technologies are reported: trajectory generation, vibration suppression control, auto-tuning of parameters in high precision control, novel speed/acceleration estimation and mode switching controller.

PDFファイルサイズ: 12,928 Kバイト

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