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放電基礎パラメータと放電応用技術の最前線

放電基礎パラメータと放電応用技術の最前線

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カテゴリ: 技術報告

論文No: 1185

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2010/03/30

タイトル(英語): Advanced Discharge Applications and Fundamental Discharge Parameters

著者名: 荷電粒子,励起種,解離種ならびに光子と原子分子ダイナミックス調査専門委員会

著者名(英語): Investigating R&D Committee of Charged Particles, Excitation Species, Dissociation Spacies, Photon and Atomic Molecule Dynamics

キーワード: 電子衝突断面積データベース,放電基礎データ,放電プラズマの応用/Data base for electron collision cross section, Fundamental discharges data, Application of discharge plasma

要約(日本語): 21世紀に入った現在、IT技術、ナノテクさらにフォトンテクノロジーへと引き繋がれて来た最先端技術の中で、放電プラズマ技術の果たす役割は依然として大きく、早い速度で進展している。数10nmのエッチング技術の開発とその裏づけとなるモデリングの結果を結びつけて議論される半導体プロセスや、nsからμsオーダの広範囲な時間スケールで起こる衝突反応を基礎にして放電機構を議論しなければならない地球環境改善技術(誘電体バリア放電や沿面放電)などを考える上で、これまで話題にならなかった原子分子を含めた基礎データへの関心と要望が引き続き多い。それと共に、放電プラズマの特徴である発光、特に真空紫外領域における発光とその作用に関する実験結果が報告され議論されることが目立つようになってきた。これらを踏まえ、電子と原子分子の相互作用をこれまでより広い見方で整理し、真空紫外光による効果も調査項目に入れ、新しい技術の動向をまとめた。

要約(英語): Most advanced technologies in the 21st century, such as semiconductor fabrication which supports the advancement of Information Technology society, nano-structure fabrication, photon-technology, etc., are developed on the basis of the progress of plasma technology. For example, plasma etching technology, which enables several nano-meter etching, is achieved with the backup of numerical simulation, and global environment improvement technology, such as decomposition of pollutants by dielectric-barrier and surface discharges, is discussed from the collision reaction between in active species and pollutants in time scale of ns-s. Thereby, a concern and a demand for the fundamental data of atomic and molecular dynamics, which have not been mentioned up to now, have arisen. Simultaneously, luminescence of discharge plasma, especially, that in vacuum ultraviolet region has become an interesting subject. Based on these situations, the interaction between electrons and atoms and molecules is re-examined and arranged from the broader standing point of view, and the trend of a new technology is also summarized.

PDFファイルサイズ: 15,356 Kバイト

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