２１世紀に向けたパワーデバイスの重点課題

カテゴリ: 技術報告

論文No: 666

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 1998/02/17

著者名: 高性能・高機能パワー素子用プロセス・デバイス技術調査専門委員会

要約(日本語): 本報告書は，パワーデバイスとULSI技術との融合による高機能・高性能化に主な視点を置きまとめたので全6章で構成されている。第1章はこれまで行ったパワーデバイス関連の調査活動のまとめと21世紀へ向けた本調査活動の位置づけを述べている。第2章は，自動車，PDP，更に携帯電話などのポータブル機器用途から抽出したデバイスの課題を述べている。第3章では，RF用シリコンデバイス，SOIデバイスの動向を調査した結果をまとめ，その中でSOIデバイスは実用化されつつあることを特筆している。第4章は，材料・プロセス・評価，そ

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