低エネルギー電子・イオンダイナミックスとシミュレーション技法

カテゴリ: 技術報告

論文No: 691

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 1998/09/25

著者名: 放電プラズマ電子衝突断面積調査専門委員会

要約(日本語): 放電プラズマは半導体薄膜のたい積やエッチングなどのプロセス，汚染ガス除去，プラズマディスプレイ，ガスレーザ，オゾナイザ，電力機器のガス絶縁，などの技術と関連して，本プラズマの詳細な理解が望まれている。これらの技術の基礎は電子とガス分子間の衝突であり，その確率を与える衝突断面積の一組を与え，放電プラズマの巨視的性質を理解することが，本技術の発展上不可欠である。本調査委員会では，1995年から1998年までの3年間，放電プラズマ中で生じる電子・イオンと分子間の衝突に関し調査・検討し，以下の技術報告書として取り

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