光と電子によるナノメータ領域材料評価と制御

カテゴリ: 技術報告

論文No: 715

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 1999/02/01

著者名: 電子材料ナノメータ領域評価技術調査専門委員会

要約(日本語): 光や電子を用いてナノメータ寸法の材料の特性を評価するための原理，技術に関する最新の技術動向をわかりやすく概説した。第1章「まえがき」以下の意の内容を大別すると，「原理と概念編」「理論編」「装置と適用例編」となる。「原理と概念編」第2章では電子，光，ナノ寸法材料，ナノ寸法電子デバイスの間の相互関係について原理的記述をしている。第3章ではトンネル電子と発光とを併用したナノ寸法材料の電子・光学特性の評価寸法を，さらに第4章近接場光を用いたナノ寸法半導体材料の光物性のスペクトル評価評価方法を記している。第5章では

PDFファイルサイズ: 9,196 Kバイト