大面積，高密度高均一性プラズマ生成の基礎，応用とその診断技術

カテゴリ: 技術報告

論文No: 765

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2000/01/20

著者名: 次世代プラズマ利用技術における放電プラズマ物性調査専門委員会

要約(日本語): 放電プラズマを用いる技術，特に半導体の被膜，エッチング加工などの技術は過去十数年にわたり研究と改良を加え高度の進展がみられている。 本委員会では，各種プラズマ処理技術における放電プラズマと各種の表面とバルクでの反応との関連，及び効率的でありしかも所望の特性を持つプラズマの生成技術などを総合的に調査，研究を進めて来た。現在の処理技術でプラズマに対して求められる特性としては，低電子温度でしかも高密度，及び高均一性である。 本技術報告書は4章からなり，第1章はじめに，第2章プロセスプラズマ生成の基礎と診断，

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