汎用化が進むリニアドライブの現状

カテゴリ: 技術報告

論文No: 953

グループ名: 【D】産業応用部門

発行日: 2004/02/10

著者名: 汎用リニアドライブにおけるサーボ制御とセンサ技術調査専門委員会

要約(日本語): 本報告は，汎用の高速高精度の直進機構として利用が急速に拡大しているリニアドライブシステムの現状を事例の紹介を収集して判り易くまとめている。リニアモータは，これまで，主に用途指向の強い専用ドライブ技術として輸送，搬送，情報機器分野を中心に発展してきた。近年，半導体や平面ディスプレイ製造装置や精密加工機などの産業用機器分野を中心とした利用が進むにつれて，回転機と同様に，さまざまな用途に適用できる汎用ドライブとして使いやすくまとめられた製品が市場に現われている。リニアドライブシステムは，モータだけでなく支持案内機構，センサおよび駆動制御技術が融合して機能を発揮している。このため，汎用のドライブは，電機メーカからだけではなく，応用装置が専用機として開発したドライブを汎用化して提供したりや性能を決める重要部品である永久磁石や軸受メーカが部品の性能を十分に発揮できるように開発した製品の提供などそれぞれのメーカの特長を備えたリニアドライブシステムが市場に現われている。本報告では，モータメーカ，装置メーカ，直進案内メーカ，永久磁石メーカおよび国外メーカが提供しているリニアドライブについて多の事例収集して現状と動向を報告している。また，汎用ドライブを支えるサーボ制御用リニアセンサとサーボ制御技術については，センサの低廉化や多次元化，新たな制御技術の導入といった新しい動向の事例も紹介している。

PDFファイルサイズ: 6,892 Kバイト