マイクロマシン集積チップサービス（MICS)の概要

カテゴリ: 技術報告

論文No: 959

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2004/04/30

著者名: マイクロマシン集積チップ標準化協同研究会

要約(日本語): マイクロマシン・MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）の研究開発には半導体ICプロセス技術の応用が不可欠であるが，設備の導入，維持管理に膨大な費用がかかる。そのため，マイクロマシン・MEMSの開発が可能な研究機関は限定され，一般の大学や中小企業の若手研究者が独創的なアイデアを持っていてもそれを実証するのは困難な場合が多い。すなわち，大きな経済的障壁がマイクロマシン・MEMSにおける若手研究者の育成や異分野からの研究者の参入を困難にしている1つの原因と考える。このような状況の中で1996年8月から2002年12月の委員会解散までの7年間，電気学会センサ・マイクロマシン準部門を中心に，マイクロマシン・MEMSの研究者が協同してファンドリー（試作請負企業）に委託することにより，マイクロマシンを最高水準かつ低コストで試作するための委員会を運営してきた。本稿では，電気学会センサ・マイクロマシン準部門，マイクロマシン技術委員会下に発足した「マイクロマシニング・マルチチップサービス協同研究委員会」，およびその後継委員会である「マイクロマシン機能チップ開発協同研究委員会」さらに，「マイクロマシン集積チップ標準化協同研究委員会」において試行してきたマルチユーザ集積チップサービス（以下MICS: Multi-user Integration Chip Serviceと呼ぶ）の概要，経緯，今後のMICSの展開のついて述べる。

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