複合化センサとそのプロセス技術の動向

カテゴリ: 技術報告

論文No: 987

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

著者名: 複合化センサとそのプロセス技術調査専門委員会

要約(日本語): センサは，プロセス・材料・システム化の技術がそれぞれに密接な関わりをもちながら研究開発が進展し，マイクロ化・軽量化・多機能化が急速に進んでいる。更に，センサデバイスとアクチュエータの情報信号処理機能などを集積化したマイクロセンサシステムも次世代の複合化されたセンサとして注目を集めている。一方，技術のみならずセンサ産業としてどう育成・発展させていくかという経済的な関心も高まっている。 本調査専門委員会では，このような状況を踏まえ，大学，国公立研究機関，産業界と共同してその技術動向を幅広く総合的に調査を行ない，体系化してまとめることを基本方針として活動を進めてきた。新型センサやセンサシステムの開発者，材料・プロセス技術の研究者，地域産業振興の担当者など委員以外の多彩な研究者を招いたヒアリングや研究会を開催し，更に見学会などを中心とする調査を行ない有益な情報が集められた。本報告書では上述の調査結果を以下の項目にまとめている。 (１)センサの複合化技術，(２)センサの超マイクロ化技術，(３)新しい原理や構造のセンサデバイス・システム，(４)微細構造製造プロセス技術，(５)マイクロセンサ用新材料，(６)センサのパッケージング技術，(７)産官学によるセンサ産業への取り組み

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