電界放出形電子顕微鏡の実用化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: HEE12013

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 電気技術史研究会

発行日: 2012/06/08

タイトル(英語): Practical use of the Field Emission Electron Microscope

著者名: 鈴木 誠(日立ハイテクノロジーズ),江角 真(日立ハイテクノロジーズ),佐藤 貢(日立ハイテクノロジーズ)

著者名(英語): Suzuki Makoto(Hitachi High-Technologies Corporation),Ezumi Makoto(Hitachi High-Technologies Corporation),Sato Mitsugu(Hitachi High-Technologies Corporation)

キーワード: 電界放出形電子源|電子顕微鏡|走査電子顕微鏡|Field emission source|Electron Microscope|Scannign Electron Microscope

要約(日本語): 日立製作所および日立ハイテクノロジーズは、2012年1月に「電界放出形電子顕微鏡の実用化」においてIEEE(米国電気学会)マイルストーン認定を受けた。本論文では電子顕微鏡の歴史と電界放出形電子源の開発経緯、FE電子源の放出原理と電子顕微鏡の分解能向上への寄与、電子顕微鏡の産業会への貢献について述べる。

要約(英語): Hitachi, Ltd. and Hitachi High-Technologies Corp. received IEEE milestone authorization in "First Practical Field Emission Electron Microscope, 1972" in January, 2012. This paper describes a history of electron microscope, development process of field emission source, and contribution of the field emission electron microscope to the industry.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,191 Kバイト