３０万V 超高圧電子顕微鏡 ー日本における超高圧電子顕微鏡開発の黎明期ー

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: HEE18021

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 電気技術史研究会

発行日: 2018/10/01

タイトル(英語): 300 kV High Voltage Electron Microscope -Dawn of Development of High Voltage Electron Microscope in Japan-

著者名: 下山 宏(名城大学),丸勢 進(名古屋大学),品田 博之(日立製作所)

著者名(英語): Hiroshi Shimoyama(Meijo University),Susumu Maruse(Nagoya University),Hiroyuki Shinada(Hitachi, ltd.)

キーワード: 電子顕微鏡|超高圧電子顕微鏡|直流高電圧発生装置|ベルト起電機|放電防止対策|真空排気|electron microscope|high voltage electron microscope|Dc high voltage generator|Van de Graaff belt generator|preventive measures against electric discharges|vacuum evacuation system

要約(日本語): 1954年、名古屋大学工学部と日立製作所中央研究所は、海外でも不可能であった加速電圧30万Vの超高圧電子顕微鏡を共同で完成、当時の通常の加速電圧5万Vでは不可能であった厚い資料の観察に道を開いた。この成果に対して、電気学会から進歩賞が授賞されている。この開発技術は、1960年代に世界初の商用50万V、100万V超高圧電子顕微鏡の開発に結実し、OECDから高く評価されるに至っている。

要約(英語): Nagoya University and Hitachi Central Laboratory jointly developed a 300 kV high voltage electron microscope in 1954 for the first time in the world, opening the way to the observation of thicker specimens that had been impossible by the ordinary 50 kV electron microscope of those days. The developmental technique led to the next commercial 500 kV and 1000 kV high voltage electron microscopes, which was highly evaluated by OECD.

原稿種別: 日本語

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