Surface discharge phenomena in micro gap under impulse/DC voltage application

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: HV08058

グループ名: 【B】電力・エネルギー部門　高電圧研究会

発行日: 2008/10/24

タイトル(英語): Surface discharge phenomena in micro gap under impulse/DC voltage application

著者名: HirokiYamaguchi (TheUniversityofTokyo),HiroshiYonezawa (TheUniversityofTokyo),ShigeyasuMatsuoka (TheUniversityofTokyo),AkikoKumada (TheUniversityofTokyo),andKunihikoHidaka (TheUniversityofTokyo)

著者名(英語): Hiroki Yamaguchi(The University of Tokyo),Hiroshi Yonezawa(The University of Tokyo),Shigeyasu Matsuoka(The University of Tokyo),Akiko Kumada(The University of Tokyo),Kunihiko Hidaka(The University of Tokyo)

キーワード: surface discharge|microgap|impulse|DC|SOI|MEMS|surface discharge|microgap|impulse|DC|SOI|MEMS

要約(日本語): 絶縁体上での沿面放電は、気中放電に比べ進展しやすく、それゆえ、沿面放電現象は電子デバイスや電力機器における絶縁耐力に対し、非常に影響を持っている。近年、これらのデバイスの高集積化に伴い、デバイス上でのマイクロ沿面ギャップでの放電現象の解明が求められている。本論文では、MEMS技術を用いてSOIウェハ上にマイクロギャップを作製し、沿面放電電圧をインパルス、DCそれぞれの場合について測定を行った。ギャップ長が1μm以下の領域において、インパルスによる沿面放電電圧は420Vとなった。

要約(英語): A discharge propagates more easily on an insulator surface, compared with that in a gaseous gap, so surface discharge phenomenon has great influence on the insulation strength of electric devices and power apparatus. In recent days, highly integrated ele

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 684 Kバイト