非共振型超音波モータを用いた精密ステージの連続軌跡追従制御系の構成法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC05052

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Design Method of Continuous Path Tracking System for Precision Stage using SPIDER

著者名: 上村篤嗣 (長岡技術科学大学),チョングニヨクミン (長岡技術科学大学),大石 潔(長岡技術科学大学),高田 雅介(長岡技術科学大学),橋本 誠司(群馬大学),小坂光二 (熊本テクノロジー),久保田 弘(熊本大学),大兄 忠弘(東北大学)

著者名(英語): Atsushi Kamimura(Nagaoka University of Technology),nouong Ngoc Minh (Nagaoka University of Technology),Kiyoshi Ohishi(Nagaoka University of Technology),Masasuke Takata(Nagaoka University of Technology),Seiji Hashimoto(Gunma University),Kouji Kosakn(Kumamoto Technology),Hiroshi\n Kubota(Kumamoto University),Tadahiro Ohmi(Tohoku University)

キーワード: :密ステージ|非共振型超音波モータ|ロバスト制御|連続軌跡追従制御系|精密位置決め精度

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,049 Kバイト