SPIDER駆動精密ステージの位置決め制御における実験的摩擦補償法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IIC05053

グループ名: 【D】産業応用部門　産業計測制御研究会

発行日: 2005/03/10

タイトル(英語): Experimental Friction Compensation Method for SPIDER-Driven Precision Stage Control

著者名: 大石 卓也(群馬大学),橋本 誠司(群馬大学),石川 赴夫(群馬大学),大石潔 (長岡技術科学大学),小坂 光二(熊本テクノロジー),久保田 弘(熊本大学),大兄 忠弘(東北大学)

著者名(英語): Takuya Ohishi(Gunma University),Seiji Hashimoto(Gunma University),Takeo Ishikawa(Gunma University),Kyoshi Ohishi(Nagaoka University of Technology),Kouji Kosaka(Kumamoto Technology),Hiroshi Kubota(Kumamoto University),Tadahiro Ohmi(Tohoku Umiversty)

キーワード: 非共振型超音波モータ､精密ステージ､摩擦補償､適応オブザーバ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 994 Kバイト